超净应用(UHP)-高流量不锈钢联动式单级的减压阀--FR1200系列

【产品特点】
FR1200系列是单级的减压阀,入口压力高达1700 PSIG时提供高流量流通能力.大流量,联动式Hastelloy C-22®哈氏合金膜片提供强大的密封性能.隔膜的较大有效面积使该系列要求较低的弹簧弹力值. ...
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详细介绍
产品概况:

作为仪器仪表流体控制系统技术的世界领导者,派克汉尼汾FR1200系列是一个单级的减压阀,在入口压力高达1700 PSIG时,可提供高流量流通能力(高达1200 SLPM流量)。该减压阀的特点是一个大流量,联动式Hastelloy C-22®哈氏合金膜片,它提供了一个强大的密封性能,特别是在危险气体应用时。隔膜的较大有效面积使FR1200系列具有要求较低的弹簧弹力值,为其提供高灵敏度和稳定的全操作范围控制奠定了基础。该减压阀非常适合用于超高纯度(UHP)半导体设备上应用,包括使用在大宗气体配管连接点和特种气体输送系统。

FR1200系列减压阀本体采用316L不锈钢制造。它与PCTFE阀座相互配合使用,阀门再经电解抛光和钝化处理,为其提供高循环寿命做保障,优异的耐腐蚀性,以及与广泛的腐蚀性的过程介质的良好兼容性。

FR1200系列的联动式隔膜设计在阀座泄漏的情况下提高了密封安全性。

FR1200系列减压阀阀体可采用单次和两次熔炼的不锈钢材质。根据客户的系统要求,减压阀可以安装多种连接类型和尺寸,包括外螺纹式和内螺纹式面密封连接端和短管式焊接连接形式。连接尺寸从3/8英寸到3/4英寸不等,1/4英寸为标准压力表口尺寸。

FR1200系列减压阀是100%使用质谱仪在内漏和外漏方面经过氦泄漏测试,以确保在超高纯度应用中的性能和可靠性,因为在该应用中清洁度和泄漏完整性是至关重要的。

市场应用:
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析,生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产

特点/优势:
• 在紧凑型的阀体设计上提供高流量特性
• 能够在1200 SLPM(42 SCFM)的流量下运行
• 流量特性:1.2 CV值
• 可使用单次和双次熔炼的不锈钢阀体
• 10微英寸Ra表面光洁度
• 工作压力达到1700 psig
• 联动式隔膜提高安全性
• 内部泄漏率:小于4×10-8 SCC/SEC
• 外部泄漏率:小于2×10-10 SCC/SEC
• 可以是表面底板或面板安装

典型应用:
• 腐蚀性和特殊性气体
• 大宗气体输送系统
• 气体控制柜
• 阀门分配箱系统(VMB)

Hastelloy C-22®是海恩斯国际公司的注册商标。


性能特点:

出口压力 1 - 30 psig, 5 - 60 psig, 10 - 100 psig, 15 - 150 psig
入口压力范围(psig) 0 - 1700 psig, 0 - 300 psig
阀体材料 316L Stainless Steel, 316L Stainless Steel Double melt
流量系数(Cv) 1.2 Cv
端口连接类型 1/4英寸短管接口, 1/4英寸外螺纹面密封接口, 1/4英寸内螺纹面密封接口, 3/8英寸外螺纹面密封接口, 3/8英寸内螺纹面密封接口, 3/8英寸短管接口, 1/2英寸外螺纹面密封接口, 1/2英寸内螺纹面密封接口, 1/2英寸短管接口, 3/4英寸外螺纹面密封接口, 3/4英寸内螺纹面密封接口, 3/4英寸短管接口
运行环境温度 (C) -40°F 至 150°F
运行环境温度 (C) -40°C 至 65°C
隔膜材料 Ni-Cr-Mo合金(哈氏合金Hastelloy®或等效的材质)
提升阀的材料 316不锈钢(标准材质)
表面处理(RA) Passivated & Electropolished
内部容积(毫升) 1/4"- 1.02 in3 (16.7 cm3)1 1/2" - 1.41 in3 (23.1 cm3)1 3/4" - 2.42 in3 (39.7 cm3)1
底座材料 聚三氟氯乙烯PCTFE
提升阀弹簧材料 铬镍铁合金 Inconel®
内部泄漏率 ≤ 4 x 10-8 scc/sec He
外部泄漏率 ≤ 2 x 10-10 scc/sec He (内漏测试)
提供压力的影响 6.8 psig / 100 psig
证明压力 2,550 psig
爆破压力 5100 psig
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