产品概况:
作为仪器仪表流体控制系统技术的世界领导者,派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,以及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用。它适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统(VMBS)。
派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀可以选择手动或气动操作。这两个选项都是内部无弹簧和无螺纹设计,这使颗粒产生和捕获最小化,从而减少了过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片的应力,提供可靠和免维护的使用寿命。该阀还具有独特的压缩构件,其均匀地加载密封件,而不需要螺纹部件或压接操作。
945系列不锈钢隔膜阀沾湿组件由特殊金属制造,以提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀门本体是由Veriflo的专有的内部电解抛光316L不锈钢材质生产而成。膜片是一种高强度钴基合金。阀座材料可在PCTFE,PEEK™ 或Vespel® 这些选项中选择,这允许945系列用于广泛的危险和惰性工艺流体。这些材料,结合阀门严格的设计特点,在工作压力高达3500 psig时,具有极高的耐腐蚀性和优良的可靠性。气动选项可以配置为提供具有极限开关的开闭位置指示。
所有945个系列不锈钢隔膜阀门都是在100级洁净室制造的。内部(阀座)密封和金属外部密封是使用质谱仪氦气泄漏测试,以确保在要求UHP超高纯应用环境的使用性能和可靠性。
市场应用:
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析,生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产
特点/优势:
• 在管材上加工,这允许改进尺寸控制。
• 5微米(Ra)电抛光表面光洁度
• 高循环寿命(包括腐蚀性应用工况)
• 内部无弹簧和无螺纹设计使颗粒产生和气体捕获最小化
• 全功能化设计从真空到300psig可用
• 内部泄漏率:小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率:小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常开常关气动AOP执行压力(最大值)
典型应用:
• 腐蚀性和特殊性气体
• 半导体设备
• 半导体设备二次配管
• 气体控制柜
• 阀门分配箱系统(VMB)
Vespel® 是杜邦性能弹性体L.L.C的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司的商标。
PEEK™ 聚醚醚酮是维克特斯PLC的商标。
性能特点:
阀体材料
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VeriClean 316L不锈钢 |
受压构件材料
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316L 不锈钢 (标准配置) 或哈氏合金 Hastelloy C-22® |
隔膜材料
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Elgiloy® 或等效材质 |
底座材料
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PCTFE (std), PEEK or Vespel® |
盖帽材料
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17-4 Stainless Steel |
螺母材料
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316L Stainless Steel |
壳体材料
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阳极氧化铝 |
证明压力
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5,250 psig (362 barg) (AOPHP, I, L, M, S)188 psig (13 barg) (G) |
爆破压力
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10,500 psig (724 barg) (AOPHP, I, L, M, S)375 psig (26 barg) (G) |
流体容量(Cv)
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Cv 0.25 (AOP, G, S, I)Cv 0.18 (杆式手柄) |
内部泄漏率
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≤ 1 X 10-9 scc/sec He |
外部泄漏率
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≤ 2 X 10-10 scc/sec He |
表面处理(RA)
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5 micro inch Ra |
内部容积(毫升)
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1.26 |
重量(磅)
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0.9 |
重量(公斤)
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0.42 |
最大入口压力(psi)
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3,500 psig (241 barg) (AOPHP, I, L, M, S)125 psig (8.6 barg) (G) |
最小入口压力(psi)
| |
真空度 |
驱动压力
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75 psig (5 barg) 通常压力值 |
空气入口
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1/8-27 NPT |
最高工作油温(C)
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66°C |
最高工作油温(F)
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150°F |
最低工作油温(C)
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-40°C |
最小工作温度(F)
| |
-40°F |