超高纯度（UHP）二级隔膜减压调压阀 - 735W和NPR735W系列

产品概况：

派克Veriflo部门的735W和NPR735W（亚大气压）系列阀门，是为高压气体分配系统而设计，特别是用于超高纯度（UHP）半导体制造操作系统。 该系列产品适用于惰性和腐蚀性气体，具有二级隔膜设计，可最大限度地减少供给压力的影响; 因此，无论入口压力如何波动，都能提供稳定的出口压力。
                                          
735W系列调压阀具有独特的压缩构件，其在润湿区域无螺纹，从而提高泄漏完整性，并减少颗粒的产生和截留的风险。此种调压阀配有100级洁净室，由Veriflo专有的Vericlean™ 316L不锈钢制成，并带有PCTFE（聚三氟氯乙烯）或者 Vespel®（聚酰亚胺）阀座。这些材料，标准的全内部电抛光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升阀相结合在一起，使调压阀入口压力高达3,500 psig时都能保有其极端的耐腐蚀性和清洁度。阀座还具有自定位设计，可做重复有效关闭，稳定的密封性，以及精确的压力调节。它通过集成的过滤网保护其不受上游气缸带来的污染。
 
735W系列调压阀，当阀座出现泄漏时，阀门关闭以阻隔带有腐蚀性或有害气体泄漏，并且通过消除下游潜在的聚积高压而提高安全性。调压阀内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行内外部氦气泄露检测，以确保在苛刻的要求清洁度的UHP应用中，保有其性能和可靠性。

市场：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点和优势：
• 独特的压缩构件无需螺纹穿孔将密封与本体连接在一起
• 高循环使用寿命（包括耐腐蚀性服务）
• 内部弹簧设计最小化颗粒的产生和气体截留
• 金属对金属隔膜到阀体的密封确保高泄漏完整性
• 内部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He （额定）
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全压力范围使用:从真空到3,500 psig （NPR735W可用于亚大气压的压力控制）
• Cv 0.04
• 标准的全内部电抛光

应用：
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱（VMB）
• 上游工艺管线


Vespel® 是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注册商标。
Hastelloy C-22® （哈氏合金 C-22®）是海因斯国际公司（Haynes International, Inc.）的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商标

性能特点：

阀体材料		316L 不锈钢
受压构件材料		316L不锈钢（标准），哈氏合金 C-22
隔膜材料		316L不锈钢（标准），哈氏合金 C-22
底座材料		PCTFE聚三氟氯乙烯(标准)，聚酰亚胺(Vespel)
提升阀的材料		316L不锈钢（标准），哈氏合金 C-22
提升阀弹簧材料		316L不锈钢（标准），Inconel合金
提升阀网材料		哈氏合金 C-22®
盖帽材料		黄铜镀镍
螺母材料		316L 不锈钢
凸起材料		ABS树脂
爆破压力		10,500 psig (724 barg)
证明压力		5,250 psig (362 barg)
流体容量(Cv)		Cv 0.04
内部泄漏率		< 2 x 10-9 scc/sec He
外部泄漏率		< 2 x 10-10 scc/sec He
内部容积（毫升）		10.10cc（不含连接端口）
重量（磅）		3.5
重量（公斤）		1.6
最大入口压力（psig)		3,500
最大入口压力（barg)		240 barg
出口压力		1-30 psig (2 barg) 3-100 psig (7 barg) (735W) -25 in Hg至30 psig (NPR735W)
最高工作油温（C)		65°C
最高工作油温（F)		150°F
最低工作油温（C)		-40°C
最小工作温度（F)		-40°F