单级，减压阀 - QR4000 和 NPR4000 系列

产品概况：

派克Veriflo产品组的QR4000和NPR4000系列是非束缚膜片减压阀，提供工艺气体的精确压力控制，得到供给下游系统的稳定流量和压力，使其成为阀组箱、气体柜和诸多半导体制造应用的很好选择。

市场:
• 半导体圆晶厂
• 气体公司

特点/优势:
• “VeriClean”, Veriflo的定制低硫高纯316L不锈钢™提高电解抛光、焊接和耐腐蚀性
• 独特的压缩部件将密封装载至阀体，无需螺纹喷管或额外对大气的密封
• 无螺纹内部喷嘴组件
• 膜片与阀体金属对金属密封确保高泄露完整性
• 最小粒子生成与诱捕
• 向上向下可靠膜片停止
• 标准内部完整电抛光

应用:
• 气体柜
• 阀组箱
• 大宗气体分配

性能特点：

阀体材料		316L不锈钢
受压构件材料		铬镍铁合金625
隔膜材料		哈氏合金 C-22
销子材料		哈氏合金 C-22(仅限NPR4000）
提升阀的材料		哈氏合金C-276
提升阀弹簧材料		捏个铁合金 X750
过滤器网格材料		哈氏合金 C-22
底座材料		PCTFE (标准), PEEK, Vespel
底座护圈材料		316L不锈钢
备用垫圈材料		316 不锈钢
盖帽材料		铜镀镍
螺母材料		316L不锈钢
凸起材料		铝,ABS(黑)(QR4000) ABS (白) (NPR4000)
流体容量(Cv)		Cv 0.06 (标准), Cv 0.02, Cv 0.15
内部泄漏率		< 4 x 10-8 scc/sec He
外部泄漏率		< 2 x 10-10 scc/sec He
提供压力的影响		0.23 psig/100 psig (0.16 barg/7 barg) (0.02 Cv) (QR4000) 0.6 [sig/100 psig (0.04 barg/7 barg) (0.06 Cv) (QR4000) 1.5 psig/100 psig (0.1 barg/7 barg) (0.15 Cv) (QR4000)
内部容积（毫升）		4.0 cc无接头
重量（磅）		1.5
重量（公斤）		0.7
最大入口压力（psi)		250 Cv 0.06, Cv 0.02, Cv 0.15 (NPR4000) 400 Cv 0.06, Cv 0.02, Cv 0.15 (QR4000) 1250 Cv 0.15 (QR4001, 4002, 4004, 4005) 4000 Cv 0.06, 0.02 (QR4001-4005, 4015) 4000 Cv 0.15 (QR4003, QR4015)
出口压力		1-10 psig (0.07 barg), 1-30 psig (2 barg),1-60 psig (4 barg), 2-100 psig (7 barg),3-250 psig (17 barg), 5-150 psig (10 barg),20-500 psig (35 barg) (QR4000)100 torr - 10 psig (-26 in Hg - 0.7 barg) 100 torr - 30 psig (-26 in Hg - 2 barg) 100 torr - 60 psig (-26 in Hg - 4 barg) (NPR4000)
最高工作油温（C)		66°C PCTFE, 135°C PEEK, 260°C Vespel
最高工作油温（F)		150°F PCTFE, 275°F PEEK, 500°F Vespel
最低工作油温（C)		-40°C
最小工作温度（F)		-40°F