FR1000 系列超高压单级减压调节器

产品概况：

Veriflo部门的FR1000系列调节阀是非束缚隔膜的减压阀， 提供低至中等流量的能力与入口压力为3500 psig.FR1000提供工艺气体导致在一个稳定的流量和下游系统使其成为阀箱、气瓶柜优良的选择压力提供精确的控制，和许多半导体制造中的应用.
标准的哈氏合金C-22®隔膜和综合过滤促进寿命长性能的同时，金属对金属密封膜片保证高度密封性。
FR1000提供相同的质量、可靠性和性能水平的派克产品的预期，在一个高度竞争的价格点.新生产线补充了我们现有的，保费qr4000和hf1200系列稳压器，和组合，将广泛应用在半导体制造中的应用。

市场：
• 半导体制造
• 天然气公司

特点/好处：
• 金属-金属膜片密封确保泄漏完整性
• 制造超高纯度气体输送应用
• 10英寸RA表面光洁度
• 钝化和电解抛光
• 综合过滤
• 标准hastelloy® 膜片

应用：
• 工具挂钩
• 阀门歧管箱
• 处理气体柜
• “使用点”压力调节

性能特点：

流量系数（Cv)		0.09, 0.15
最大入口压力（psig)		3500
出口压力		出口压力1-30 psig, 2-60 psig, 2-100 psig, 5-150 psig, 1-10 psig
底座材料		聚三氟氯乙烯
端口数量		2
端口连接类型		1/4"面密封，3/8"面密封
端口连接		外螺纹，外螺纹，内螺纹，内螺纹
阀体材料		316L不锈钢，316L不锈钢双融
选择		钠，哈氏合金装饰（提升阀）
内部泄漏率		内部泄漏率为4 x 10 -8 scc/sec He
运行环境温度 (C)		-40°F to 150°F (-40°C to 66°C)
隔膜材料		哈氏合金的C-22材料
提升阀的材料		316L 不锈钢
过滤器类型		哈氏合金的C-22材料
表面处理（RA)		表面组糙度10RA（0.25微米），25RA（可选）
内部容积（毫升）		0.49