超净应用（UHP）-高压高流量不锈钢隔膜阀-17R 系列

产品概况：

作为仪器仪表流体控制系统技术的世界领导者，派克汉尼汾17R系列不锈钢隔膜阀提供极高的循环寿命，并为高流量散装输送和特殊气体系统提供了正向的关闭。它可以选择手动或气动，并被设计用于超高纯度半导体制造应用中，满足可靠性和清洁度是关键的要求。

17R系列阀门由特殊金属制成，以提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀门本体和下阀杆由 Veriflo专有的VeriClean™ 低硫，316L不锈钢制成，并在内部进行电解抛光。膜片是一种高强度钴基合金。阀座材料可在PCTFE（标准配置）或聚酰亚胺中选择使用，这样的材质设计允许17R系列与各种腐蚀性和惰性工艺流体一起使用。除了阀的严格的设计特点，控制阀座和膜片应力，以提供无维修的长使用寿命，17R系列的材料在工作压力高达3000 psig的情况下为它提供了极端的耐腐蚀性和优异的可靠性。

所有17R系列阀门都是在100级洁净室制造的。内部（阀座）密封和金属外部密封是使用质谱仪测试氦气泄漏。他们还使用外部嗅气探测器探头在2000 - 2500 PSIG压力下进行泄漏测试，以确保满足在UHP超净半导体制造应用的性能要求。

市场应用：
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析，生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产

特点/优势：
• 为超高压流体系统提供高流量和正向关断
• 10微米（Ra）电抛光表面光洁度
• 高循环寿命（包括腐蚀性服务）
• 全功能设计从真空到3000psi
• 内部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC（额定）
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 使用外部嗅气探测器探头在2000—2500psi的一定时间内对生产泄漏进行测试
• 可以手动控制（0.80 CV值）或气动控制（0.75 CV值）

典型应用：
• 大宗特种气体系统（BSGS）
• 散装输送系统
• 半导体设备二次配管
• 气控制柜
• 阀门分配箱系统（VMB）

Vericlean™ 是派克汉尼汾公司的商标。

性能特点：

阀体材料		VeriClean™ 316L不锈钢（电解抛光）
底座材料		PCTFE（标准类型）或聚酰亚胺
下阀杆材料		VeriClean 316L不锈钢（钝化）
弹簧材料		316不锈钢（电抛光）
执行器外壳材料		铝材质
活塞材料		303 不锈钢
阀盖材料		17-4 不锈钢
隔膜材料		镀银铍铜/Elgiloy® 或等效材质
手轮材料		铝材质
上阀杆材料		铝硅青铜
螺钉材料		18-8不锈钢
衬套材料		尼龙
开关类型		单极，单掷（SPST）瞬时动作，不可调的 26 AWG电线，7英寸，W/O连接接头
开关选择		AOPNCLSC 1/4安培在115 VAC（常闭）AOPNCLSO 1/2安培在115 VAC（常开）
流体容量		Manual Cv 0.8Pneumatic Cv 0.75
内部泄漏率		< 4×10 ^ - 9 SCC/SEC内漏测试方法
外部泄漏率		< 1×10 ^ - 9 SCC/SEE内漏试验方法
测试方法		2000～2500 PSIG，20-25%氦检外嗅气探头的生产泄漏试验
表面处理（RA)		10 micro inch Ra
内部容积（毫升）		11.77 cc
重量		手动阀门 1.85 lbs. (0.84 kgs)气动阀门3.35 lbs. (1.52 kgs)
操作压力（psig)		手动控制, 气动控制，真空应用到3000 psig (206.8 barg)执行器压力 70 psig (4.8 barg) 最小值至125 psig (8.6 barg) 最大值
最大背压（psig)		最大压差背压200 PSID（13.8bar）
温度系数(F)		手动控制 -40°F 至 150°F (-40°C 至 65°C)气动控制 +15°F 至 150°F (-9°C 至65°C)