旋转密封

产品概况：

派克的旋转密封使用在化学机械抛光过程中提供密封和抛光头及加工元件的平移动作。化学机械抛光过程需要零件有坚固的设计和材料性能以满足环境的需求。

材料特性:
•弹性材料用以支持高扭矩载荷
•高纯度材料
•高拉伸力
•抗磨损性能
•抗撕扯性能

业主低成本
•增加晶片的产出
•扩展项目管理周期
•加快循环时间

性能特点：

聚合物的家族		丁腈橡胶（NBR,XNBR),氯丁橡胶（Neoprene,CR),乙丙橡胶（EPM,EPR,EPDM),氟硅橡胶（FVMQ),氢化丁腈橡胶（HNBR,HSN), 硅橡胶（VMQ,PVMQ)
硬度		45 到 90
热应用程序(C)		低温和高温 (<-30C, >121C)
流体的兼容性		及其广泛
市场		通用的
应用		各种各样的