定制聚四氟乙烯FlexiSeal™ 用于半导体的应用解决方案

派克的解决方案是为延长使用寿命而设计的，这意味着设备可以运行更长的时间，在需要维修时更换失效的密封件。派克有着几十年的专业从事高性能热塑性塑料和工程氟聚合物材料的研究，包括PEEK，PTFE和填充的PTFE化合物，我们知道如何设计最优的解决方案以满足半导体客户的具体要求。

我们的FlexiSeal"'型密封，FIN-H 和 FEN-H系列，在沉积和蚀刻操作中，在腔和大气压力之间提供可靠的法兰和缝隙密封，。它由高性能的PTFE材料制成，具有优异的化学相容性、热稳定性和极低的

摩擦性能，我们的柔性密封材料被设计用于在极端环境下，并提供长期的使用寿命。

产品简介:
FIN-H和FEN-H系列面密封(有时被称为法兰密封)，用于静态或间歇性动态应用的内部或外部压力，因沉积和蚀刻操作中产生的大气压力在法兰和气室之间提供可靠的间隙密封。

特性简介:
• 高纯度纯PTFE或根据应用要求填充聚四氟乙烯材料。
• 高单位面积接触载荷，增加密封能力。
• 介质和气体的超广泛化学兼容性。
• 低可浸材料和最小的排气。
• 宽温范围(-450F 至 +600F)
• 低摩擦
• 长寿命聚四氟乙烯密封材料，耐受老化和热老化、及温度循环时物理性能的改变。

外壳设计:
圆润的唇形与交替的表面的接触方式与o形圈的方式大致相同。螺旋弹簧，连同圆形，串珠式接触点，提供了较高的单位负载，增加了密封能力。

弹簧设计:
H系列,螺旋弹簧。由于高单位负荷，螺旋弹簧是为了静态或间歇性动态应用而设计的。H系列弹簧在每个单独的带条之间产生均匀分布的负载，在线圈之间有很小的间隙。紧凑的间距提供了近乎连续的负载，减少了潜在的泄漏路径。这与高的单位负荷相结合，使H系列非常服帖或在真空应用，或当压力过低时提供弹性密封。

材料:
外壳:纯的和填充聚四氟乙烯化合物。
弹簧:耐腐蚀的螺旋缠绕弹簧可使用金属合金，包括不锈钢，Elgiloy，PEEK

应用程序:
FIN-H系列:用于内部静态和间歇性动态法兰和间隙之间的室内外压力密封。
FEN-H系列:用于外部静态、间歇性动态法兰和间隙密封。