UHP 隔膜阀 - 手动或气动（真空至300 psig） - 930系列

产品概况：

派克930系列1-1 / 8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和低颗粒发生，非常适用于UHP半导体应用。

930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可最大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中必不可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供可靠和免维护的使用寿命。930系列阀门润湿部件由特种金属制成，提供卓越的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™ 316L不锈钢材质。 Vericlean™ 是派克专有的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930系列还提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮树脂（PEEK®）和聚酰亚胺（Vespel®）材质的阀座，可使930阀门与各种工艺流体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点，给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时极度的耐腐蚀性和最大循环使用寿命。

930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关，用以提供开 - 关位置指示。还有多种阀体构造可选，包括930Y系列（Y型阀）和SM930系列（面板安装）。

930系列阀门上内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以确保在苛刻的UHP应用中，保有其性能和可靠性。

市场：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点与优势：
• 电抛光表面光洁度：5微英寸（Ra）
• 高循环使用寿命（包括耐腐蚀性服务）
• 内部无弹簧和无螺纹设计可最大限度地减少颗粒产生和气体截留
• 全压力范围使用:从真空到300 psig
• 内部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驱动，额定压力为75 psig

应用：
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱（VMB）


Vespel® 是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商标
PEEK™ 是威格斯公司（Victrex plc）的商标。


性能特点：

阀体材料		非常清洁的 316L不锈钢
隔膜材料		相当于埃尔吉洛伊非磁性合金（Elgiloy）
底座材料		PCTFE聚三氟氯乙烯(标准)，PEEK（聚醚醚酮树脂）,聚酰亚胺(Vespel)
盖帽材料		17-4不锈钢
螺母材料		316L 不锈钢
壳体材料		阳极氧化铝
证明压力		188 psig (13 barg) (AOPLP, G) 450 psig (31 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
爆破压力		375 psig (26 barg) (AOPLP, G) 900 psig (62 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
流体容量(Cv)		Cv 0.3 (AOP), Cv 0.22 (杠杆)
内部泄漏率		≤ 1 x 10¯9 scc/sec He
外部泄漏率		≤ 2 x 10¯10 scc/sec He
内部容积（毫升）		2.64 cc
重量（磅）		1.75
重量（公斤）		0.8
开关类型		单刀单掷（SPST） 瞬时性动作，不可调
输入电压		1/4 amp 在115 VAC(常闭)（AOPLPLSC，AOPMPLSC） 1/2 amp在115 VAC(常开)（AOPLPLSO，AOPMPLSO）
导线长度（英寸）		7英寸长引线
布线		26 AWG，UL1061型，相当于双绞线
线缆连接		1/8“ 镀锡端口
最大入口压力（psig)		125 psig (AOPLP, G) | 300 psig (AOPMP, K, L, I, M, S)
最大入口压力（barg)		8.6 barg (AOPLP, G) | 20.7 barg (AOPMP, K, L, I, M, S)
驱动压力		75 psig 公称（5 barg）
烘烤温度(C)		在打开位置时耐温121℃
烘烤温度(F)		在打开位置时耐温250°F
最高工作油温（C)		66°C
最高工作油温（F)		150°F
最低工作油温（C)		-40°C
最小工作温度（F)		-40°F