超净应用（UHP）-高压不锈钢隔膜阀-945系列

产品概况：

作为仪器仪表流体控制系统技术的世界领导者，派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性，高循环寿命，以及低的粒子生成，从真空应用到3500 psig压力范围可用。它适用于超高压半导体应用，包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统（VMBS）。

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀可以选择手动或气动操作。这两个选项都是内部无弹簧和无螺纹设计，这使颗粒产生和捕获最小化，从而减少了过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片的应力，提供可靠和免维护的使用寿命。该阀还具有独特的压缩构件，其均匀地加载密封件，而不需要螺纹部件或压接操作。

945系列不锈钢隔膜阀沾湿组件由特殊金属制造，以提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀门本体是由Veriflo的专有的内部电解抛光316L不锈钢材质生产而成。膜片是一种高强度钴基合金。阀座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 这些选项中选择，这允许945系列用于广泛的危险和惰性工艺流体。这些材料，结合阀门严格的设计特点，在工作压力高达3500 psig时，具有极高的耐腐蚀性和优良的可靠性。气动选项可以配置为提供具有极限开关的开闭位置指示。

所有945个系列不锈钢隔膜阀门都是在100级洁净室制造的。内部（阀座）密封和金属外部密封是使用质谱仪氦气泄漏测试，以确保在要求UHP超高纯应用环境的使用性能和可靠性。

市场应用：
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析，生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产

特点/优势：
• 在管材上加工，这允许改进尺寸控制。
• 5微米（Ra）电抛光表面光洁度
• 高循环寿命（包括腐蚀性应用工况）
• 内部无弹簧和无螺纹设计使颗粒产生和气体捕获最小化
• 全功能化设计从真空到300psig可用
• 内部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常开常关气动AOP执行压力（最大值）

典型应用：
• 腐蚀性和特殊性气体
• 半导体设备
• 半导体设备二次配管
• 气体控制柜
• 阀门分配箱系统（VMB）

Vespel® 是杜邦性能弹性体L.L.C的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司的商标。
PEEK™ 聚醚醚酮是维克特斯PLC的商标。

性能特点：

阀体材料

受压构件材料

隔膜材料

底座材料

盖帽材料

螺母材料

壳体材料

证明压力

爆破压力

流体容量(Cv)

内部泄漏率

外部泄漏率

表面处理（RA)

内部容积（毫升）

重量（磅）

重量（公斤）

最大入口压力（psi)

最小入口压力（psi)

驱动压力

空气入口

最高工作油温（C)

最高工作油温（F)

最低工作油温（C)

最小工作温度（F)

	VeriClean™ 316L不锈钢
	316L 不锈钢 (标准配置) 或哈氏合金 Hastelloy C-22®
	Elgiloy® 或等效材质
	PCTFE (std), PEEK™ or Vespel®
	17-4 Stainless Steel
	316L Stainless Steel
	阳极氧化铝
	5,250 psig (362 barg) (AOPHP, I, L, M, S)188 psig (13 barg) (G)
	10,500 psig (724 barg) (AOPHP, I, L, M, S)375 psig (26 barg) (G)
	Cv 0.25 (AOP, G, S, I)Cv 0.18 (杆式手柄)
	≤ 1 X 10-9 scc/sec He
	≤ 2 X 10-10 scc/sec He
	5 micro inch Ra
	1.26
	0.9
	0.42
	3,500 psig (241 barg) (AOPHP, I, L, M, S)125 psig (8.6 barg) (G)
	真空度
	75 psig (5 barg) 通常压力值
	1/8-27 NPT
	66°C
	150°F
	-40°C
	-40°F