超高纯（UHP）高压隔膜Y阀 - 945Y系列

产品概况：

945Y系列隔膜阀连接两个阀门到一个单独的紧凑型阀体，因此简化了吹扫系统进入气箱的系统集成，并且提高了吹扫过程的有效性。这个系列从真空到3,500 psig能够提供优秀的抗漏能力，高使用寿命以及尽可能降低杂质的生成，使它成为包括特气柜、阀箱、上游生产线等高压超高纯半导体应用的理想选择。

945Y系列阀提供了多种手动操作和气动（AOP）驱动。内部为无弹簧和无螺纹设计，最大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入，具有非常高的清洁度和极少的过程污染。这种阀还具有一个独特的压杆，使其不需要螺纹组件或卡口操作就能够实现密封。

945Y系列独特的设计能够控制阀座和膜片的压力，使其具有稳定的和免维护的服务寿命。与流体接触的部分由Veriflo专有的VeriClean 316L内部经过电解抛光的不锈钢构成。阀座可选择PCTFE（聚三氟氯乙烯）、PEEK®（聚醚醚酮）或 Vespel®(聚酰亚胺树脂）材质，使阀具有从危险流体到惰性流体广泛的适用范围。阀的膜片由高强度的钴基合金构成。这些材料组成了945Y系列鲜明的设计特征，使其在极高的进口压力下具有杰出的防腐蚀性，稳定性以及清洁性。

945Y系列应用在几种流量管道中，适应入口流量，出口流量，也可应用在普通管道进行吹扫应用。内部的死角体积被尽可能的减小以提高吹扫的有效性。这个系列的气动阀被设定成能够用限位开关来提供开-关的位置指示。

所有945Y阀均生产于100级的洁净车间。内部（阀座）密封及金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏实验，以确保其在高要求的超高纯应用中有出色可靠的表现。

市场需求：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业

特点/优势：
• Y阀构造允许最大化的操作连接同时减少了空间的需求
• 10微英寸（Ra）电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命（包括腐蚀性条件下）
• 内部无弹簧和无螺纹设计最大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到3,500 psig完全适用
• 内部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig
• Cv 0.25（HP,NC,NO,I），Cv 0.18（M），Cv 0.17放空阀

应用：
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱

Vespel® 是杜邦公司的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司的商标。
PEEK™ 是威格斯公司的商标。

性能特点：

阀体材料		非常清洁的316L不锈钢
受压构件材料		316L不锈钢
隔膜材料		埃尔吉洛伊，等价物
底座材料		聚三氟氯乙烯（std），聚醚醚酮，聚酰亚胺树脂
盖帽材料		17-4不锈钢
螺母材料		316L不锈钢
壳体材料		阳极电镀铝
证明压力		5,250 psig（362 barg）（HP,I,M） 188 psig（13 barg）（NC,NO）
爆破压力		10,500 psig（724 barg）(HP,I,M） 3375 psig（26 barg）（NC,NO）
流体容量(Cv)		Cv 0.25（过程阀，HP，NC，NO，I）) Cv 0.18（过程阀，操作杆）(M) Cv 0.17（排气阀）
内部泄漏率		≤ 1 x 10-9 scc/sec He
外部泄漏率		≤ 2 x 10-10 scc/sec He
表面处理（RA)		10微英寸Ra
内部容积（毫升）		4.26 cc
重量（磅）		2.1
重量（公斤）		0.98
最大入口压力（psi)		3,500 psig（241 barg） 125 psig（8.6 barg）
最小入口压力（psi)		真空
驱动压力		75 psig（5 barg），标称
空气入口		1/8 - 27 NPT
最高工作油温（C)		66°C
最高工作油温（F)		150°F
最低工作油温（C)		-40°C
最小工作温度（F)		-40°F