超高纯度含氟聚合物（PFA）阀 - 22系列

产品概况：

这些新型的、超清洁的、材质为含氟聚合物的手动和气动阀门大大提高了流量，并提供更好的增强型阀座密封，增强无泄漏性能，提供了最大的安全性。它们旨在以最小的体积提供最高的流量。采用计算流体动力学软件来最大化通过这些阀门的流量。这些超净化阀适用于半导体液体应用，包括高浓度酸和碱，明确的其他化学物质和浆液。因其清洁度和拥有高度的耐化学腐蚀性能，对于其他严苛的市场应用，也可以使用这些阀门。

市场：
• 半导体加工
• 化学品加工
• 分析设备
• 实验室

特点与优势：
• 耐酸和浆料，循环使用寿命长
• 简洁的标识，真正的上锁挂牌设计（LOTO）
• 双点密封提供双倍的密封效能
• 平滑的钻孔和完全可清扫的流道，最大限度地减小颗粒捕获区域并防止截留区的形成
• 100％泄漏测试
• 符合SEMI-F57-0301标准

关键应用：
• 化学机械抛光（CMP）浆料
• 超高纯度工艺
• 明确的半导体工艺化学物质
• 搅拌机系统
• 清洁系统


性能特点：

阀体材料		PFA
隔膜材料		改性聚四氟乙烯（PTFE）
壳体材料		聚偏氟乙烯（PVDF)
弹簧材料		不锈钢，含氟聚合物涂层
螺钉材料		SS
最大压力（psig)		80 psig
驱动压力		60 至100 psig
温度系数(F)		32°至212°F
温度范围（C)		0°至100°C
证明压力		120 psig
爆破压力		200 psig
流体容量		0.33, 0.82, 2.3, 4.3